Mục đích: Quan sát, phân tích, chụp ảnh cấu trúc bề mặt của mẫu vật liệu rắn ở các chế độ phóng đại khác nhau, Phân tích thành phần nguyên tố ở các vùng quan sát, cấu trúc tinh thể học…
 

Thông số kỹ thuật:

– Nguồn điện tử: Sợi đốt Vonfram

– Thế gia tốc: 0,5 đến 30 kV

– Độ phóng đại trực tiếp: x5 đến x300.000

– Điều chỉnh độ nghiêng của mẫu để lấy nét

– Độ nghiêng từ -10o đến +90o ; phụ thuộc vào kích thước bộ giữ mẫu
– Camera quan sát trong buồng mẫu

– Di chuyển mẫu: 5 trục (X, Y, Z, R, T). Điều khiển 2 trục X, Y bằng mô tơ, CPU

– Bộ giữ mẫu tiêu chuẩn:

+ Đường kính 32 mm x dầy 10 mm

+ Bộ gá 4 mẫu: đường kính 10 mm

– Hệ thống đầu thu
+ Chân không cao
* Đầu thu tín hiệu điện tử thứ cấp (SE)
* Đầu thu tín hiệu điện tử tán xạ ngược (BE)
+ Chân không thấp
* Đầu thu tín hiệu điện tử tán xạ ngược (BE)

– Tích hợp hệ phân tích phổ tán xạ năng lượng EDS/EDX, Model: Xplore 30

– Tích hợp hệ thống đầu dò nhiễu xạ điện tử tán xạ ngược EBSD, Model: C-Nano (Oxford Instruments)

– Phần mềm tích hợp tính năng điều khiển cảm ứng đa chạm

– Hệ phún xạ cho mẫu không dẫn điện, Model:  JEC-3000FC