Mục tiêu tổng thể của đề tài là phát triển và làm chủ công nghệ chưng cất màng (MD) sử dụng màng quang nhiệt nano carbon đa lớp (CNTs-MD) hấp thụ năng lượng mặt trời, tối ưu hóa và kiểm soát bằng trí tuệ nhân tạo (AI) để sản xuất nước siêu tinh khiết (UPW) đạt tiêu chuẩn phục vụ công nghiệp bán dẫn tại Việt Nam, góp phần tự chủ công nghệ và hướng tới phát triển bền vững. Mục tiêu 1: Đánh giá nguồn nước (nước cấp, nước biển) và lựa chọn phương pháp tiền xử lý phù hợp (UF, UV) cho sản xuất UPW, dựa trên phân tích đặc tính, độ ổn định nguồn cấp cũng như khả năng xử lý bằng MD. Mục tiêu 2: Thiết kế, chế tạo và tối ưu màng quang nhiệt CNTs-MD có khả năng hấp thụ bức xạ mặt trời, tăng hiệu quả truyền nhiệt và nâng cao thông lượng dòng thấm. Mục tiêu 3: Xây dựng và huấn luyện mô hình AI, ứng dụng thuật toán tăng cường (boosting algorithms) để dự báo, tối ưu hóa và điều khiển toàn bộ quá trình MD, đảm bảo hiệu suất, độ ổn định và hiệu quả kinh tế. Mục tiêu 4: Đánh giá hiệu quả kỹ thuật, kinh tế và môi trường của công nghệ, đề xuất phương án triển khai ở quy mô pilot và khả năng mở rộng sang các lĩnh vực khác.